课程大纲:
1. 为什么要进行持续工艺确认
2. 持续性工艺确认范围和频率评估
3. 如何制定持续工艺确认方案(举例说明)
4. 工艺验证常用技术与工具介绍(风险评估、统计分析技术、PAT技术等)
5. 工艺验证检查常见缺陷
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